入江工研株式会社製品

30年来のパートナーとして。

入江工研株式会社は、1966年の設立以来、金属ベローズと真空技術を中核として、半導体・FPDをはじめ幅広い分野へ真空関連製品を提供しています。

三和真空と入江工研株式会社は、 30年来のパートナー企業です。長年にわたり培ってきた経験と連携を生かし、お客様の用途やご要望に合わせた製品選定・仕様のご相談を承ります。

BELLOWS WELDED BELLOWS

薄肉金属板を内径・外径で交互に精密溶接して製作する金属ベローズです。大きな伸縮量が必要な機構や、コンパクトな設計が求められる用途に対応します。

BELLOWS FORMED BELLOWS

金属管を成形して製作するベローズです。配管の熱伸縮や取付誤差の吸収など、真空装置・配管をはじめ幅広い用途に使用されます。

VACUUM VALVE ANGLE VALVE

ベローズシールを用いた高真空用アングルバルブです。真空チャンバーと排気系の接続・遮断などに使用します。

VACUUM COMPONENT MOTION FEEDTHROUGH

真空状態を保持したまま、大気側から真空内部へ直進・回転などの動作を伝達する各種導入機です。

GATE VALVE KOSLARZE II

真空側に金属摺動部を持たない構造を採用した真空ゲートバルブです。半導体製造装置などの真空プロセス間の仕切り用途に使用されます。

LARGE GATE VALVE GARIVA

大開口サイズを得意とする大型真空ゲートバルブです。差圧キャンセル機構を採用し、 FPD・OLED製造装置などの仕切り用途に対応します。

ROUND GATE VALVE MARINA

シンプルでコンパクトな構造を持つ丸型真空バルブです。主に真空チャンバーと真空ポンプの間に設置し、排気系の仕切りとして使用されます。

PRODUCT SUPPORT

入江工研株式会社では、金属ベローズ・真空バルブ・導入機をはじめ、各種真空機器を展開しています。

使用条件や必要仕様をお知らせいただければ、製品選定・仕様についてご相談を承ります。

30年来のパートナーとして。