入江工研株式会社

1966年の創業以来、真空業界で高い技術力を評価されてきたベローズ・バルブメーカーです。
お客様のニーズに寄り添った製品を提供し続けています。
弊社と入江工研株式会社は30年来のパートナー企業です。
その長い経験を生かし、協働して皆様によりよいご提案が出来るよう努めてまいります。

FFT_Valve

2013年　超モノづくり部品大賞『奨励賞』受賞
OLED(照明系）、有機薄膜太陽電池向けCVD、スパッタなどに使われております

　FFT_Valveはフィルム状のフレキシブル基板の量産に対応したバルブです。

　フィルム出入口のシール形状及びシール材の工夫で密閉性を高めながら、シール材の粘着性を抑えて「FFT_Valve」解放時におこるフィルムのバタつきを低減し、スムーズにフィルムを送り込むことができるようになりました。

　フィルムロール交換の際も、プロセス室を高真空に保つことができ、巻取り部の調整やロール交換作業が簡単になり、ロール交換後の装置立ち上げ時間の短縮に貢献できます。