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<ウェハー>

・グレード :ダミー、モニター、テスト、プライム
・材質 :シリコン、サファイア、ガラス、SiC、LT、LN、Ge、GaN、InP、GaAs、InAs、InSb、SOIなど
・製造方法 :CZ、FZ
・導電型 :P型、N型
・ドーパント :Boron、Phosphorus、Antimony、Arsenic、Un-Doped
・直径 :1-12インチ(角型状対応可能)
・面方位 :(100)(110)(111)※その他面方位もあり
・抵抗値 :お客様のご要望仕様にて
・面仕上げ :ミラー、SG、エッチド、ラップド、アズカット
・サービス:成膜・再生・研磨研削・切断各種加工ウェハ検査等
・消耗品:ダイシングテープ・バックグラインディングテープなど

膜種膜厚(Å)厚み公差
SIO2(V/F)500-100000±10%
P-TEOS500-30000±10%
LP-POLY1000-5000±10%
AL-CU1000-10000±10%
W(CVD)3500-9000±10%
P-SIO2500-10000±10%
LP-TEOS3000-10000±10%
LP-SIN700-2000±10%
HDP2000-10000±10%
P-SIN500-10000±10%
Ti100-3000±10%
TiN140-500±10%
SIO2(RTO)18-200±10%
W(SPUTTER)500-1000±10%
P-SION200-1000±10%
RESIST5000-27000±10%
Polyimide40000±10%

提携工場にてご要望に合わせたウェハを製造しております。
サイズ・厚み・抵抗値等どのような仕様でもご相談下さい。

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TEL:03-5735-5656
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