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MeiVac社 (代理店業務)
 

MAKマグネトロンスパッタソース

MAKマグネトロンスパッタソースkk
・ MAKマグネトロンスパッタソースは、コンパクトで、取付けが容易、ターゲットはマグネットにより保持されていますので脱着が簡単です。
・ モデルは、1.3、2、3、4、6インチタイプがあります。
・ MAKマグネトロンスパッタソースは、最小限の電力とRF電力の少ない反射でカソードにDC電力だけでなくRF電力を供給するシールドされた電路を備えています。
・ MAKマグネトロンスパッタソースは、ターゲットへの集束プラズマを減少させることなく高い圧力(600mtorr)で作動するだけでなく低い圧力(0.5 mtorr)でも作動させることが出来る独特の特徴を持っています。

 
<特徴>
◆ 冷却水ラインと高電圧経路が分離4
◆ マグネットと冷却水ラインが分離
◆ ターゲットの交換が簡単
◆ DC、RFモードで作動
◆ 動作圧力:0.5ー600 mtorr
◆ HV(高真空)、UHV(超高真空)
 
 
 
 
 
<仕様>
MAKモデル 1.3" 2.0" 3.0" 4.0" 6.0"
ターゲット径 1.3" 2.0" 3.0" 4.0" 6.0"
マグネット Nb/FeB
DC Max パワー(W) 350 1000 2000 3000 6000
RF Max パワー(W) 200 1000 2000 3000 6000
カソード(V) 200-1000
放電電流(Max A) 1 3 5 7 10
最小動作圧力(mtorr) 0.5-600
 
<寸法>
MAKモデル 1.3" 2.0" 3.0" 4.0" 6.0"
   寸法:インチ
 A Φ1.50  Φ2.33  Φ3.38 Φ4.45  Φ6.55
 B 4.45  3.91 4.35  4.6 6.75
 B'  0.71  0.71  0.66  0.66 問合せ
 C  Φ2.325 Φ1.5 Φ2.25 Φ2.25 Φ4.50
 D 12
 D' 4.5
 E  Φ0.75  Φ0.75  Φ0.75  Φ0.75  Φ1.25
F 2.3
 
円形タイプ
円形タイプ
 
ライトアングルタイプ
ライトアングルタイプ
フレキシブルタイプ
フレキシブルタイプ
CFフランジ付タイプ
CFフランジ付タイプ
 
均一性分布グラフ
均一性分布グラフ
均一性分布グラフ2
 
 
基板ヒーター
MeiVac社製高温基板ヒーターは、薄膜積層の間、基板に一定で均一な加熱を供給します。
酸素雰囲気中で温度を950℃まで加熱することが出来ます。
最大温度と高圧で酸素と他の反応ガスに耐えるように設計されています。
長い寿命でメンテナンスがほとんど必要ありません。
ニッケルをベースとした材料は、高温に耐えることを可能します。
この非常に信頼できる基板ヒーターは、高温基板処理のための卓越した製品として認められています。

<特徴>基板ヒーター
◆ UHVに適合
◆ O2雰囲気に適合
◆ 優れた温度の均一性
◆ 最高950℃まで加熱

<用途>
◆ スパッタリング
◆ レーザーアプレーション
◆ イオンビーム蒸着
◆ ECR、MOCVD等

<仕様>

サイズ 2" 3" 4" 6"
最高温度(℃) 950 950 950 950
温度均一性 ±1% ±1% ±2% ±2%
均一性領域 1.25" 2.25" 4" 6"
950℃までの立上り時間(大気中) 12min 13min 22min 30min
最大電流(A) 10 9 14 14
最大電圧(V) 45 85 85 135
入力パワー AC/DC AC/DC AC/DC AC/DC
ヒーター抵抗 5Ω 10Ω 6Ω 10Ω

 

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